電子材料咨詢機構TECHCET近期研報(以下簡稱研報)顯示，隨著高端芯片所需的先進制程工藝加速引入EUV，金屬氧化物、干沉積、多觸發等EUV光刻膠的市場規模將在2025年超過2億美元。

　　光刻膠是光刻工藝的核心耗材，EUV光刻膠是其中發展最快的品類之一。TECHCET此前報告指出，用于半導體的光刻膠的營收規模預計在2022年增長7.5%至23億美元，2025年超過25億美元，2021年—2026年復合增長率為5.9%。而EUV光刻膠2021年的市場規模僅約0.6億美元，預計到2025年達到2億美元，2020年-2025年復合增長率達50%，遠高于光刻膠市場平均增速。

　　研報指出，金屬氧化物、干沉積、多觸發等光刻膠材料在EUV技術平臺有著較為廣闊的應用前景。金屬氧化物光刻膠具有高耐蝕性，可以消除在抗蝕劑上面所需的額外層。干沉積光刻膠提供了消除液體顯影和沉積的機會。多觸發光刻膠能夠持續使用較低的曝光能量，在多次曝光中發揮作用。

　　目前，IC、存儲器等半導體器件制造廠商都在引入EUV技術。在邏輯IC方面，隨著先進制程節點的不斷引入，EUV技術被規?；瘧?，EUV光刻膠的市場規?？焖僭鲩L。在存儲器方面，存儲廠商已經開始將EUV技術引入DRAM生產。除了光刻膠，EUV也帶來了掃描儀光學器件和3D模式技術等一系列變化。

　　而g線、i線、KrF、ArF等相對成熟制程使用的光刻膠也有望保持增長。KrF光刻膠在3D NAND存儲器用量和堆疊層數不斷增加的過程中保持增長。ArF光刻膠也隨著多重曝光技術的使用實現增長。

　　“隨著晶圓代工廠在先進制程的資本支出越來越高，光刻材料在半導體制造中變得至關重要，是光刻加工的重要組成。因此，EUV等材料和工藝創新會加速發展。”TECHCET首席執行官Lita Shon-Roy表示。

　　研報顯示，在EUV光刻膠等材料的推動下，光刻材料市場有望在未來3-4年隨著細線寬(孔間四條線或平均線寬在5～6mil以下稱為細線)器件制造實現5倍的增長。

　　來源：中國電子報、電子信息產業網　　作者：張心怡