【專題 | 「半導體設備」刻蝕機_薄膜沉積設備_半導體封裝設備】

　　“儀器設備處于工業的核心地位，提高儀器設備水平，充分發揮其作用，才能促進半導體等產業發展，并走向世界前沿。”中國科學院院士褚君浩在8月10日舉辦的第11屆(2023年)中國電子專用設備工業協會半導體設備年會暨產業鏈合作論壇上表示。

　　半導體設備市場發展勢頭良好

　　半導體設備是支撐電子行業發展的基石。近年來，國內多家半導體設備企業在關鍵領域取得了進展，材料零部件的龍頭企業也呈現出快速增長的趨勢。中國電子專用設備工業協會理事長、北方華創董事長趙晉榮表示，10余年來中國半導體設備市場規模持續發展，尤其是近幾年，中國本土設備取得了較大進步。

　　根據中國電子專用設備工業協會的統計，2022年，77家規模以上半導體設備制造商銷售收入累計完成593億元，同比增長53.6%。其中，前10家設備制造商完成銷售收入438億元。中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠表示，今年1—6月，主要半導體設備進口額在減少，國內企業半導體設備訂單在增長。預計2023年，本土的半導體設備銷售額將增長38%左右。

　　“為了保障全球產業鏈供應鏈的暢通與穩定，發展半導體設備、材料以及零部件至關重要。”華潤微電子有限公司執行董事、總裁李虹表示，“中國在全球半導體市場中占據重要地位，也是全球最大的設備市場。在整個半導體設備產業鏈中，目前中國廠商開始嶄露頭角，發展勢頭良好，市場規模逐年增加。”睿歷科學儀器(上海)有限公司總經理兼首席執行官楊峰表示，當前國內半導體設備企業應把握發展機遇，首先在成熟工藝領域，新興的半導體設備企業有機會成為主力軍;其次在高階制程領域，只要加快研發進度和技術迭代，還是有機會趕上的。”

　　半導體設備廠商仍面臨諸多難題

　　中微半導體設備(上海)股份有限公司董事長兼首席執行官尹志堯表示，半導體設備要超前半導體制造3~5年開發新一代產品，雖然我國半導體設備經過不斷地努力，已經取得了長足的進步，但外國設備仍占國內設備采購的85%左右。中國電子專用設備工業協會副秘書長、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導體設備的研發和大生產應用是完全不同的，其中良率至關重要，如果沒有95%以上的良率，成本就不能降下來。

　　李晉湘同時指出，我國半導體設備廠商正面臨三個挑戰：一是缺乏某類設備，不能形成體系化生產流程;二是設備齊全，但特殊工藝要求無法滿足;三是設備和工藝雖然完善，但關鍵工藝不穩定、不可靠。盛美半導體設備(上海)股份有限公司總經理王堅也表示，中國半導體設備銷售額的成長速度飛快，從2008年的17億元，增長到了2022年的593億元。雖然取得如此大的成績，但是與全球市場規模相比還是很小，國內半導體設備廠商仍面臨很多難題。根據SEMI的數據，2022年全球半導體設備的出貨額創下1076億美元的歷史新高，中國半導體設備投資額為283億美元，連續3年成為全球最大的半導體設備市場。

　　作者：許子皓　　來源：中國電子報、電子信息產業網

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